Handbook of wafer bonding
Kategori
Vitenskapelig antologi/Konferanseserie
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Peter Ramm
- James Jian-Qiang Lu
- Maaike Margrete Visser Taklo
Institusjon(er)
- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
- Rensselaer Polytechnic Institute
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
År
2012Forlag
Wiley-VCH
ISBN
978-3-527-32646-4