Wafer-level packaged MEMS switch with TSV
Les publikasjonen
Kategori
Vitenskapelig foredrag
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Nicolas Lietaer
- Thor Bakke
- Anand Summanwar
- Per G. Dalsjø
- Jakob Gakkestad
- Frank Niklaus
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
- Forsvarets forskningsinstitutt
- Ukjent
Presentert på
International Wafer-Level Packaging Conference
Sted
Santa Clara
Dato
03.10.2011 - 06.10.2011
Arrangør
SMTA and ChipScale Review