Anodic bonding for monolithically integrated MEMS
Kategori
Vitenskapelig artikkel
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Kari Schjølberg-Henriksen
- Geir Uri Jensen
- Anders Hanneborg
- Henrik Jakobsen
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
- Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
- Universitetet i Sørøst-Norge
År
2004Publisert i
Sensors and Actuators A-Physical
ISSN
0924-4247
Hefte nr.
A 114
Side(r)
332 - 339