Metallization scheme and release methods for fabrication of RF MEMS switches
Les publikasjonen
Kategori
Vitenskapelig Kapittel/Artikkel/Konferanseartikkel
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Shimul Chandra Saha
- Trond Sæther
- Geir uri Jensen
- Erik Poppe
- Håkon Sagberg
Institusjon(er)
- Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
- SINTEF AS
- Ukjent
År
2007Forlag
MNE 2007
Bok
Proceedings of the 33rd Micro- and Nano- Engineering conference (MNE 2007)
Hefte nr.
1
ISBN
9-999-99999-9
Side(r)
773 - 774