Transfer of silcon nitride to silicon by fusion bonding
Kategori
Vitenskapelig Kapittel/Artikkel/Konferanseartikkel
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Kjersti Midtbø
- Arne Rønnekleiv
- Preben Storås
Institusjon(er)
- Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
- SINTEF AS
År
2005Forlag
IMAPS Nordic
Bok
Proceedings of the IMAPS Nordic conference 2005
ISBN
9-999-99999-9
Side(r)
135 - 138