Capacitive micromachined ultrasonic transducers fabricated by advanced wafer bonding and RIE etch
Kategori
Vitenskapelig Kapittel/Artikkel/Konferanseartikkel
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Kjersti Midtbø
- Arne Rønnekleiv
- Dag T. Wang
Institusjon(er)
- Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
- SINTEF AS
År
2006Forlag
Eurosensors
Bok
Proceedings of the XX Eurosensors
ISBN
91-631-9281-0
Side(r)
T3B - O2