Modeling of Spring Constant and Pull-down Voltage of Non uniform RF MEMS Cantilever Incorporating Stress Gradient

Forfatter(e)

• Shimul Chandra Saha
• Ulrik Hanke
• Geir uri Jensen
• Trond Sæther

Institusjon(er)

• Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
• SINTEF AS

Hefte nr.

11