Modeling of Spring Constant and Pull-down Voltage of Non uniform RF MEMS Cantilever
Kategori
Vitenskapelig foredrag
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Shimul Chandra Saha
- Ulrik Hanke
- Geir uri Jensen
- Trond Sæther
Institusjon(er)
- Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
- SINTEF AS
Presentert på
IEEE International Behavioral Modeling and Simulation Confer
Sted
San Jose, California, USA
Dato
14.09.2006
Arrangør
IEEE