Tuning of Resist slope for RF MEMS with hard baking parametershas been presented on in ,
Kategori
Vitenskapelig foredrag
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Shimul Chandra Saha
- Håkon Sagberg
- Geir Uri Jensen
- Trond Sæther
Institusjon(er)
- Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
- SINTEF AS
Presentert på
19th international Microprocess and Nanotechnology Conference (MNC 2006)
Sted
Kanagawa
Dato
26.10.2006
Arrangør
The Japan Society of Applied Physics/IEEE Electron Device So