Surface energy of fusion bonded silicon nitride to silicon
Kategori
Vitenskapelig foredrag
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Kjersti Midtbø
- Kari Schjølberg-Henriksen
- Maaike Margrete Visser Taklo
- Arne Rønnekleiv
Institusjon(er)
- Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
- SINTEF Digital / Microsystems and Nanotechnology
Presentert på
207th meeting of the electrochemical society
Sted
Quebec
Dato
15.05.2005 - 20.05.2005
Arrangør
The electrochemical society