Effect of the native oxide on the Surface Passivation of Si by Al2O3
Les publikasjonen
Kategori
Vitenskapelig artikkel
Oppdragsgiver
- Research Council of Norway (RCN) / 295864
- Research Council of Norway (RCN) / 289437
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Michael Getz
- Marco Povoli
- Eduard Monakhov
Institusjon(er)
- Universitetet i Oslo
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
År
2021Publisert i
Journal of Applied Physics
ISSN
0021-8979
Forlag
AIP Publishing (American Institute of Physics)
Årgang
129
Hefte nr.
20