Dynamical Behaviour of a piezoMEMS Micromirror During Degradation
Kategori
Vitenskapelig foredrag
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Runar Dahl-Hansen
- Christopher Andrew Dirdal
- Jo Gjessing
- Per Thomas Martin Tybell
- Frode Tyholdt
Institusjon(er)
- Ukjent
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
- Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
Presentert på
2019 IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics (ISAF)
Sted
EPFL Lausanne
Dato
14.07.2019 - 19.07.2019