Electrical, Mechanical, and Hermeticity Properties of Low-Temperature, Plasma Activated Direct Silicon Bonded Joints
Kategori
Vitenskapelig foredrag
Oppdragsgiver
- Research Council of Norway (RCN) / 2210601
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Kari Schjølberg-Henriksen
- Nishant Malik
- Elin Vold Gundersen
- Oscar Rincon Christiansen
- Kristin Imenes
- Sigurd Moe
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
- Universitetet i Oslo
- Universitetet i Sørøst-Norge
Presentert på
The 226th Meeting of the Electrochemical Society
Sted
Cancun
Dato
05.10.2014 - 09.10.2014
Arrangør
The Electrochemical Society