Leak Rates and Residual Gas Pressure in Cavities Sealed by Metal Thermo-Compression Bonding and Silicon Direct Bonding
Kategori
Vitenskapelig foredrag
Oppdragsgiver
- Research Council of Norway (RCN) / 210601
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Kari Schjølberg-Henriksen
- Nishant Malik
- Åsmund Sandvand
- Gjermund Kittilsland
- Sigurd Moe
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
- Universitetet i Oslo
- Universitetet i Sørøst-Norge
- SensoNor ASA
Presentert på
The 226th Meeting of the Electrochemical Society
Sted
Cancun
Dato
05.10.2014 - 09.10.2014
Arrangør
The Electrochemical Society