Dry-film resist technology for versatile TSV fabrication for MEMS, tested on blind dummy TSVs
Kategori
Vitenskapelig Kapittel/Artikkel/Konferanseartikkel
Oppdragsgiver
- Research Council of Norway (RCN) / 210601
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Nicolas Lietaer
- Anand Summanwar
- Sara Rund Herum
- Leny Nazareno
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
År
2014Forlag
EDA Publishing Association
Bok
Symposium on Design, test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS, Cannes, France, 1-4 April, 2014
ISBN
9782355000287
Side(r)
351 - 355