Piezoelectric thin film materials for MEMS
Kategori
Vitenskapelig Kapittel/Artikkel/Konferanseartikkel
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Andreas Vogl
- Frode Tyholdt
- Hannah Rosquist Tofteberg
- Paul Muralt
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
- Sveits
År
2015Forlag
Elsevier
Bok
Handbook of Silicon based MEMS materials and Technologies. 2nd edition
ISBN
9780323312233
Side(r)
163 - 174