Til hovedinnhold

Mikrosystemer og sensorer

Mikrosystemer og sensorer

Mikrosystemer er miniatyrsystemer som kobler den fysiske verdenen sammen med den digitale. Et mikrosystem består vanligvis av en sensor, en prosessorenhet og en utløser som iverksetter systemets funksjon. Nanoteknologi er ofte integrert i mikrosystemer for å øke funksjonalitet og ytelse. SINTEF tilbyr tjenester knyttet til utvikling av sensorer og mikrosystemer basert på avansert silisiumprosessering. SINTEF har et moderne renrom på 800 m², utstyrt med en komplett silisium prosesseringslinje med mulighet for både single-wafer og batch-prosessering.

SINTEFs kjernekompetanse er design og simulering av utstyr, prosessutvikling og prosessintegrasjon. SINTEF er ledende innen integrasjon av piezoelektriske materialer som PZT i mikrosystemer (MEMS) og har etablert sitt eget «piezoMEMS kompetansesenter».SINTEFs unikhet beror på vår evne til å ta ideene dine fra den spede begynnelse og føre dem frem til et endelig produkt. Vi tilbyr også F&U-tjenester tilknyttet småskala-/pre-serieproduksjon.

Fagmiljø:

Forskningssjef