Til hovedinnhold

Maaike M Visser Taklo

Sjefforsker

Maaike M Visser Taklo

Sjefforsker

Maaike M Visser Taklo
Telefon: +47 930 59 334
Mobil: +47 930 59 334
Avdeling: Smart Sensor Systems
Kontorsted: Oslo

Publikasjoner og ansvarsområder

Publikasjoner

Publikasjon

Cost-Efficient Wafer-Level Capping for MEMS and Imaging Sensors by Adhesive Wafer Bonding

http://www.sintef.no/publikasjoner/publikasjon/?pubid=CRIStin+1392949

Device encapsulation and packaging often constitutes a substantial part of the fabrication cost of micro electro-mechanical systems (MEMS) transducers and imaging sensor devices. In this paper, we propose a simple and cost-effective wafer-level capping method that utilizes a limited number of highly...

Forfattere Bleiker Simon J. Taklo Maaike M Visser Lietaer Nicolas Vogl Andreas Bakke Thor Niklaus Frank
År 2016
Type Tidsskriftsartikkel
Vis alle publikasjoner