Hvittlysinterferometer (WLI)
For rask og nøyaktig måling av overflatetopografi på mellomstore områder.
Teknikken: Hvittlysinterferometri er en teknikk som uten fysisk kontakt med overflaten kan måle dens topografi med svært god høydeoppløsning og med sideveis oppløsning som i et lysmikroskop. Alle slags overflater kan bli undersøkt, også mørke prøver. En topografimåling tar bare noen få sekunder.
Instrumentet: WYKO NT-2000 fra Veeco Instruments med automatisert prøvebord. Topografibildene kan analyseres på mange ulike måter, noe som gjør det enkelt å finne gode kvantitative mål som beskriver overflaten. SINTEF har også utviklet egne programmer som trekker ut spesielle overflatekarakteristika, som f.eks. dybde og krumningsradius for overflatesprekker i en prøve for utmattingstesting.
SINTEF har dessuten utviklet en prøveholder og programvare som gjør det mulig å følge endringer i topografien til en overflate, f.eks. ved stegvis etsing, elektropolering, korrosjon, tørking av maling, osv. Disse endringene blir vist i korte videoer.
WYKO-instrumentet har to ulike moder: Faseskiftinterferometri (PSI) for veldig plane overflater, og vertikal scanning interferometri (VSI) for ruere overflater.
Sammenlikning av modene:
| Mode |
PSI |
VSI |
| Største høydeforskjell |
160 nm |
500 mm |
| Høydeoppløsning |
0,3 nm |
3 nm |
| Typisk avbildningstid |
3 s |
10 s |
Andre nøkkeltall:
| Billedstørrelser |
Fra 59 µm ´ 45 µm til 4,6 mm ´ 3,5 mm avhengig av forstørrelsen.
Ved automatisk sammensying av bilder kan flere cm2 avbildes. |
| Sideveis oppløsning |
Fra 12,5 µm/piksel ned til diffraksjonsgrensen (~ 0,5 µm/piksel) avhengig av forstørrelsen. |
| Antall billedpunkter |
736 ´ 480 piksler |
Krav til prøven:
| Størrelse |
Praktisk størrelse opp til 40 cm´ 40 cm, lengre prøver er mulig.
Høyde < 15 cm. |
| Vekt |
< 30 kg |
| Blankhet |
Minimum 2 % reflektivitet.
Gjennomskinnelige eller lagdelte prøver kan være vanskelige å måle korrekt. |
| Prøvepreparering |
Vanligvis ingen. Kan trenge gullbelegging for å øke reflektiviteten. |
Kontaktpersoner:
Joachim Seland Graff
, tlf. 98 23 04 73 og
Børge Holme
, tlf. 98 28 39 46
